電子凈化工程中對車間環(huán)境的特殊要求電子凈化工程中對車間環(huán)境的特殊要求
? ? ? ?電子凈化工程的建設是要為電子產品的生產提供可靠的環(huán)境條件，生產環(huán)境與電子產品生產有著
密切的關系，合適的生產環(huán)境，可以提高產品的性能、成品率及可靠性，否則會對產品生產造成較大
的影響。主要的環(huán)境要求有：
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（1） 空氣潔凈度要求
? ? ? 空氣潔凈度是表示空氣潔凈程度的指標，主要有兩個指標：空氣中塵埃微粒的濃度和空氣中塵埃微粒的粒徑?？諝獾臐崈舳仁请娮赢a品、尤其是微電子生產非常重要的條件之一，空氣潔凈度不達標，會直接對產品或工件造成污染，影響產品的性能、成品率、可靠性及壽命。空氣的潔凈度主要靠兩個
方面來保證，一方面建筑密閉性能、易潔性、保溫性能是潔凈廠房的基本條件，另一方面是在此基礎
上凈化空調等機電系統(tǒng)的共同作用保證空氣潔凈度達到規(guī)定的要求。一般而言，各類電子工程結合生
產要求和造價等多方面的因素，根據生產工藝流程設置不同面積和等級的凈化車間，隨著工藝要求的
嚴格程度，凈化等級由外到內逐級提高。
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（2） 空調恒溫恒濕要求
? ?恒溫恒濕包含了對溫、濕度基數與容許變化范圍的要求，室內溫度的高低及變化的大小，對電子產品生產及運行有著很大的影響，室內溫度對電子產品及其生產的影響溫度條件影響溫度變化過大由于熱膨脹，使元器件、電路接點、精密設備儀器、機械構件的溫度系數改變，造成尺寸變化、位置偏移、
機構變形，影響產品的性能、成品率、可靠性及使用壽命溫度過高操作人員容易出汗，易造成污染；
影響操作人員的工作情緒，影響產品質量及生產效率；電子元器件容易損壞、性能惡化；電子計算機
等電子設備易發(fā)生誤動作；電機、變壓器繞阻溫度升高，超過允許限度即會燒毀；絕緣材料容易老化、
變形和脫裂，絕緣性能降低溫度過低因溫度系數改變，影響元器件的電氣性能和成品率；影響精密電
子設備及儀器的穩(wěn)定性，金屬和塑料絕緣會因為收縮系數改變產生接觸不良、密封開裂、焊點連接失
敗等問題空氣濕度對電子產品生產的影響，
主要有以下5個方面：
1） 影響電子設備及元器件產品的性能。濕度過大，電子元器件易引起漏泄通路、漏電、擊穿及材料老化等變化；工件(如硅片)表面沾附的塵粒難以去除：電氣絕緣材料容易受潮，降低絕緣性能。而濕度
過低，又易使塑料、絕緣材料等干燥收縮、變形、甚至龜裂。
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2） 濕度大，易在精密電子、機械設備(如電子計算機、大功率發(fā)射機、高頻感應電爐等)內部及工作表面產生凝結水(即結露)，影響設備內部元器件的性能及工作穩(wěn)定性，甚至引起泄露、斷路等問題。
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3） 當濕度超過一定的臨界值時，則將加速金屬的腐蝕。
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4） 濕度低，容易產生靜電。一般而言，空氣的相對濕度不宜低于40%。
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5） 濕度影響操作人員的工作情緒，影響產品質量和生產效率。
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因此，電子工廠特別是精密電子產品的生產工廠，均對室內溫度和濕度有不同程度的要求。為了保證達
到相應的恒溫恒濕標準，建筑物的維護結構和空調的自控功能效果都至關重要。
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（3） 防微振要求
? ? 振動對電子產品、特別是高精密產品的生產影響很大。即使每秒幾十微米的振動速度，也會對生產
造成很大的危害。振動對電子產品的影響，主要有以下幾個方面： 影響加工精度及測試精度，影響產
品成品率；影響設備儀器正常工作及使用壽命；影響設備儀器零部件(或元器件)的性能，甚至造成裂損
破壞；造成零件磨損或損壞，影響精度及使用壽命；易使設備儀器內部的零部件、元器件松動，影響
正常工作。生產環(huán)境中的振動，除廠房外部的振源(如交通車輛、機械設備、建筑施工等)以及內部振源
(如運輸車輛、機械設備、人員走動等)以外，廠房本身構件的機械性共振，也是不可忽視的振源。 因
此，電子工程必須充分預計各種可能產生的振源，并采取必要的防振措施。
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（4） 防靜電要求
? ? ? 靜電對電子產品生產的危害主要是：破壞電子元器件的生產，影響產品成品率，如MOS場效應管
和MOS集成電路，其絕緣氧化層厚度非常薄，只要遇到100V電位差，就會引起介質擊穿，導致器件損
壞；在微電子器件生產過程中，各種因素產生的靜電電壓，往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍，
如果當室內相對濕度過低時，可能產生一定的靜電電壓，使得產品損壞率上升；造成電子設備故障，
損壞設備內部元器件；引起設備誤動作；由于靜電吸塵，影響設備通風散熱，造成機械零件磨損，
影響使用壽命；產生電擊現象，危及操作人員安全，甚至會引起燃燒及爆炸事故；干擾電子計算機等
設備的正常工作。
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? ? ? 所以在電子工業(yè)生產過程中，如集成電路制造等生產，對靜電防護有嚴格的要求，防靜電接地連接
必須安全可靠；有靜電防護的房間和設備，應注意所有設備可導電的金屬外殼、各類金屬管道、外露的
金屬構架等均應作等電位聯(lián)結，不應有對地絕緣的孤立導體；靜電接地的連接線應保證可靠連接，并宜
采用焊接或壓接。當采用導電膠與接地線粘接時，其按觸面積不宜小于20cm2；輸送超純氫氣、天然氣
等可燃介質的管道，必須采取防靜電接地措施，露天的放空管應該設置阻火器，并與周圍的建筑物和構
筑物綜合考慮防雷措施。
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（5） 電磁環(huán)境和電磁屏蔽要求
? ? 在電子產品生產中，電磁環(huán)境和電磁屏蔽技術是電子工業(yè)生產過程的重要手段和措施，同時也是影
響產品生產的一個重要環(huán)境因素，一個符合要求的電磁屏蔽環(huán)境需要多專業(yè)的密切配合，包含：屏蔽
殼體（壁板）的安裝（焊接），濾波器、截至波導通風窗的安裝等，都應嚴格按照電磁屏蔽室工程施
工及驗收規(guī)范的規(guī)定進行；電磁屏蔽室的濾波器（含電源濾波器和信號濾波器），其衰減參數應與電
磁屏蔽室的屏蔽性能一致。濾波器安裝前，必須將屏蔽室壁板與濾波器接觸面的油漆等影響導電性能
的物質清除干凈，并在接觸面放置導電襯墊，用螺栓緊密固定，保證有良好的電氣接觸；屏蔽室的濾
波器應在屏蔽殼體安裝完畢后和屏蔽室內裝修前進行安裝。進出屏蔽室的線纜一般均應經過濾波器，
不宜通過濾波器的應接入信號傳輸接口板。信號傳輸接口板的安裝應按《電磁屏蔽室施工及驗收規(guī)定》
（SJ 31470）的規(guī)定執(zhí)行；濾波器安裝完畢后，應用電磁屏蔽檢漏儀進行百分之百的檢漏檢查。濾波
器的屏蔽效能檢測應由國家專門機構組織實施，測試方法和要求應符合《高效能電磁屏蔽室屏蔽效能
檢測方法》（GB 12190）的規(guī)定。檢測指標應滿足設計要求；電磁屏蔽室內的電氣配線、綜合布線
、監(jiān)控及安全防范系統(tǒng)、消防監(jiān)控系統(tǒng)等專業(yè)施工應在屏蔽殼體檢查合格后進行，施工安裝中嚴禁
破壞屏蔽層。
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